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从荷兰进口DUV光刻机是否需要许可证?

光刻机是半导体芯片生产过程中的关键设备。光刻机所使用的光源的波长直接决定了芯片的工艺水平。例如,最先进的芯片制造工艺(7nm5nm等)与EUV极紫外光刻机密不可分,并且该光刻机的唯一全球供应商是荷兰的ASML。最近,荷兰ASML首席财务官Roger Dassen在财务报告会议上的视频采访中谈到了与SMIC等中国客户的业务状况。罗杰·达森(Roger Dassen)表示,如果我们广泛了解美国针对ASML的法规(针对特定中国客户)的总体含义,则意味着ASML将能够从荷兰向这些中国客户提供荷兰的DUV光刻系统,而无需获得出口许可证。但是,如果涉及直接从美国运送到此类客户的零件或系统,则ASML需要为此申请出口许可证。 21ic family指出,ASML最近宣布了其第三季度财务报告。在本季度,ASML总共交付了10台EUV系统,实现了14台系统的销售,总销售额达到40亿欧元。同时,第三季度的新订单达到29亿欧元,其中5.95亿欧元来自4辆EUV设备。财务报告还宣布了其两个系列的光刻机产品的最新发展。其中,在EUV光刻业务领域中,大多数TWINSCANNXE:3400B系统都已同时向客户升级了生产力模块。同时,ASML还发布了其EUV路线图上的最新模型:TWINSCANNXE:3600D。 EUV光刻机已实现每小时160片晶圆的30mJ / cm2的曝光能量,生产率提高了18%,并且得到了改善。该机器的雕刻精度达到1.1纳米。新的EUV光刻机预计将于2021年中期开始发货。在DUV光刻业务领域,ASML已于本季度完成了首款TWINSCANNXT:2050i的质量认证,并于第四季度初发货。 NXT:2050i是基于NXT平台的新版本,其中包括对标线片台,晶片台,投影物镜和曝光激光的技术改进。由于这些创新,该系统比其前身可以更好地控制雕刻精度,并具有更高的生产率。 NXT:2050i已进入量产阶段。资料来源:21ic王立英整理