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半导体磁传感元件

基于霍尔效应的半导体磁电转换传感器。半导体磁传感元件是磁场测量和使用磁场作为介质的重要组成部分,用于许多非电测量位移,速度,加速度,压力,角度,角速度,流量,电流,电功率和类似。磁传感元件分为霍尔元件,磁阻元件,磁敏二极管,磁敏晶体管等。主要材料是锑化铟,砷化铟,锑和硅。这种装置的优点是结构简单,体积小,易于集成,抗冲击,频率响应宽(从直流到微波),动态范围大,无接触检测,无磨损,无污染,无火花。使用安全,使用寿命长,因此在测量技术,自动控制和信息处理方面具有广泛的应用。霍尔元件霍尔元件通过控制电流< I style =" FONT-STYLE:italic"> I< / I>在半导体喇叭的长度方向上(图1),磁场沿平面法线方向施加< I style =“FONT-STYLE:斜体”> B< / I>,所以电子是在磁场中受到洛伦兹力并且在宽度方向上偏移,使得正电荷和负电荷累积在船体板的两侧并且在宽度方向上产生。霍尔电场。由该电场在电子上产生的力阻止电子移动。当电场力<I style =“FONT-STYLE:斜体”> f< / E&E; E与Lorentz力平衡< I style =" FONT-STYLE:italic"> f< / I> ; L,霍尔输出端的电荷积累达到平衡,即霍尔效应。当磁感应强度<I style =“FONT-STYLE:斜体”> B< / I>方向是一个角度< I style =" FONT-STYLE:italic">θ< / I>在霍尔平面的法线平面上,霍尔电压< I style =" FONT-STYLE:斜体“> V = KIB< /< I> cos< I style =" FONT-STYLE:italic">θ< / I>,其中< I style =" FONT-STYLE:italic"> K< / I>是霍尔元件的灵敏度。当载体是孔时,它与电子运动方向相反,并且洛伦兹力的方向相同,因此产生的霍尔电压的极性相反。霍尔元件主要用于测量磁场,转速,微小位移,加速度等。它是回放磁头,磁接近开关,同步传动装置,无刷直流电动机,函数发生器,算术单元,功率计,调制器和解决方案。调制器,频谱分析,回转器和隔离器中的重要组件。半导体磁传感器件霍尔集成电路通过硅集成电路工艺在同一硅晶片上集成霍尔元件和功能线而形成的磁传感器件,分为霍尔开关集成电路和霍尔线性集成电路。霍尔开关集成电路由四个部分组成:霍尔元件,差分放大器,施密特触发器和输出级。它具有高可靠性,工作频率带宽(从DC到100 kHz),良好的温度性能,易于数字化,结构简单,体积小,抗冲击。它可以用作非接触式开关,例如键盘开关,接近开关,行程开关,限位开关等,以用磁钢检测物体的线性运动的位置和速度,或者磁化器,从而检测产品的数量,液位旋转体的角位移,角速度,风速和流速也可用于磁头编码。